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      產品名稱 : Wafer單槽式清洗機
      產品介紹

      Wafer 單槽式自動清洗機-功能說明

      • 將6"~12"晶圓放置晶舟,利用純水搭配超音波清洗,再以N2烘乾,有效達到清洗潔淨效果。

      Wafer 單槽式自動清洗機-功能簡介規格一覽

      • 單槽全自動化清洗
      • 個性化快速上手操作介面
      • 多重安全保護

      Wafer 單槽式自動清洗機-功能簡介規格一覽

      機型編號

      適用WAFER尺寸

      機身尺寸(單位:公分)

      耗電量(KVA)

      YF-68W
      YF-812W

      6"~8"Wafer
      8"~12"Wafer

      L170 x W150 x H250
      L170 x W150 x H270

      60
      70

      電源規格

      AC 220V / 380V / 415V 3PHASE 50HZ / 60HZ

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